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发明名称 RADIATION BEAM TRANSMITTING WINDOW AND ATTACHMENT OF RADIATION BEAM TRANSMITTING THIN FILM TO THE SAME
摘要
申请公布号 JPH03108699(A) 申请公布日期 1991.05.08
申请号 JP19890244992 申请日期 1989.09.22
申请人 SORUTETSUKU:KK 发明人 HARA KOICHI
分类号 G21K5/00;G03F7/20;H01J35/18;H01L21/027;H01L21/30;H05H13/04 主分类号 G21K5/00
代理机构 代理人
主权项
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