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发明名称 METHOD OF FORMING CONTACTS TO A SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 EP0398834(A3) 申请公布日期 1991.05.08
申请号 EP19900480054 申请日期 1990.03.27
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 KU, SAN-MEI;PERRY, KATLEEN ALICE
分类号 H01L29/73;H01L21/285;H01L21/302;H01L21/331;H01L21/768;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/60;H01L21/311 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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