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发明名称 PLASMA ETCHING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH03108328(A) 申请公布日期 1991.05.08
申请号 JP19890243520 申请日期 1989.09.21
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 ABE KENJI
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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