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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON ZERSTAEUBUNGSTARGETS AUS SILICIUM
摘要
申请公布号 DD289780(A5) 申请公布日期 1991.05.08
申请号 DD19890335329 申请日期 1989.12.07
申请人 VEB FORSCHUNGSZENTRUM MIKROELEKTRONIK DRESDEN,DE 发明人 KAUFMANN,CHRISTIAN,DE;RASCHKE,THOMAS,DE;REICHEL,JOHANNES,DE
分类号 C23C14/34;C30B33/00;(IPC1-7):C30B33/00 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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