| 摘要 |
Bei einem Verfahren zur Qualitätskontrolle von metallischen Oberflächen, die vorausgehend mit einem gepulstem Laser, insbesondere einem Excimer-Laser belichtet wurden, wird die Oberflächenqualität on-line optisch durch Differenzreflektometrie in einem vorgegebenen Spektralbereich erfaßt. |
