发明名称 CONTINUOUS VACUUM VAPOR DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03107457(A) 申请公布日期 1991.05.07
申请号 JP19890243485 申请日期 1989.09.21
申请人 MITSUBISHI HEAVY IND LTD 发明人 TAGUCHI TOSHIO;OKITA HAJIME;KAMIKAWA SUSUMU
分类号 C23C14/56 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项
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