发明名称 METHOD FOR FIXING MAGNETRON SPUTTERING TARGET
摘要
申请公布号 JPH03107454(A) 申请公布日期 1991.05.07
申请号 JP19890246194 申请日期 1989.09.21
申请人 TANAKA KIKINZOKU KOGYO KK 发明人 MATSUZAKI TAMIO
分类号 C23C14/35 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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