MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR CHIP,申请号JP19890244527-传众专利搜索

发明名称	MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR CHIP
摘要
申请公布号	JPH03106052(A)	申请公布日期	1991.05.02
申请号	JP19890244527	申请日期	1989.09.20
申请人	HITACHI LTD;HITACHI TOKYO ELECTRON CO LTD	发明人	YAMADA SERIAKI;MATSUMOTO HIROMITSU;NAKAGOME SHINGO
分类号	H01L21/301;H01L21/304;H01L21/78	主分类号	H01L21/301
代理机构		代理人
主权项
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