发明名称 SEMICONDUCTOR SENSOR
摘要 L'invention concerne les capteurs à semi-conducteurs à effet de champ. Le capteur selon l'invention comprend un oscillateur en anneau (3) formé à partir d'un nombre impair d'inverseurs CMOS et disposé dans une zone sensible (2) à la grandeur physique que l'on désire mesurer. Afin d'augmenter la sensibilité du capteur, on dispose pour chaque inverseur CMOS le canal n du transistor NMOS perpendiculairement au canal p du transistor PMOS.
申请公布号 WO9106125(A1) 申请公布日期 1991.05.02
申请号 WO1990FR00736 申请日期 1990.10.15
申请人 SCHLUMBERGER INDUSTRIES 发明人 MOSSER, VINCENT;SUSKI, IAN
分类号 H01L27/20;G01L9/00;H01L 主分类号 H01L27/20
代理机构 代理人
主权项
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