| 发明名称 |
DIFFERENTIAL ELLIPSOMETER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU609573(B2) |
申请公布日期 |
1991.05.02 |
| 申请号 |
AU19890029167 |
申请日期 |
1989.01.10 |
| 申请人 |
COMMW OF AUSTRALIA |
发明人 |
FOLKARD MARGARET ANNE;HARTLEY RICHARD HOLMES |
| 分类号 |
G01B11/06;C30B19/10;C30B23/02;C30B25/16;G01J4/04;G01N21/21;G01N21/41;G01N21/45;(IPC1-7):G01N21/41 |
主分类号 |
G01B11/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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