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发明名称 ANORDNUNG ZUM ABTASTEN ELEKTRISCHER MESSSTELLEN MITTELS ELEKTRONENSTRAHL
摘要
申请公布号 DD289453(A7) 申请公布日期 1991.05.02
申请号 DD19780203230 申请日期 1978.01.16
申请人 BUTTKEWITZ,GERHARD,DE;BURKA,PETER-UWE,DE 发明人 BUTTKEWITZ,GERHARD,DE;BURKA,PETER-UWE,DE
分类号 H01J31/495;(IPC1-7):H01J31/495 主分类号 H01J31/495
代理机构 代理人
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