发明名称 NON-PHOTOGRAPHIC METHOD FOR PATTERNING ORGANIC POLYMER FILMS
摘要 Un procédé non photographique de réalisation de configurations dans des films de polymères organiques comprend les étapes séquentielles consistant (a) à appliquer à un substrat une première couche non configurée renfermant un polymère organique solide pouvant être dispersé dans un éluant prédéterminé; (b) à appliquer à la première couche non configurée une seconde couche configurée comprenant un agent capable de changer la dispersibilité du polymère organique solide dans l'éluant prédéterminé; (c) à procéder à la diffusion configurée de l'agent modifiant la dispersibilité dans la couche de polymère organique sous-jacente; et (d) à éliminer les zones du polymère organique solide sous-jacent, lesquelles sont dispersibles dans l'éluant en les lavant à l'aide de l'éluant prédéterminé.
申请公布号 WO9106118(A1) 申请公布日期 1991.05.02
申请号 WO1990US05664 申请日期 1990.10.11
申请人 E.I. DU PONT DE NEMOURS AND COMPANY 发明人 FELTEN, JOHN, JAMES
分类号 C09D133/10;B41M1/12;B41M3/00;C09D133/04;G02F1/1343;G03F7/00;H01L21/312;H01L21/48;H05K3/00;H05K3/02;H05K3/10;H05K3/46 主分类号 C09D133/10
代理机构 代理人
主权项
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