发明名称 VERFAHREN ZUR SELEKTIVEN ELEKTRONENSTRAHLABTRAGUNG DUENNER METALLSCHICHTEN
摘要
申请公布号 DD289451(A7) 申请公布日期 1991.05.02
申请号 DD19830251650 申请日期 1983.05.31
申请人 KERAMISCHE WERKE HERMSDORF TRIDELTA AG,DE 发明人 BRODE,WOLFGANG,DE;STEINBRUECK,ROLF,DIPL.-ING.,DE;HENNEBERGER,JUERGEN,DIPL.-CHEM.,DE;STEINHAUER,INGO,DIPL.-PHYS.,DE;PANZER,SIEGFRIED,DIPL.-PHYS. DR.,DE;DAENHARDT,JUERGEN,DE;BERGER,ACHIM,DIPL.-ING.,DE;PFEIL,GEORG,DE
分类号 H01C17/24;(IPC1-7):H01C17/24 主分类号 H01C17/24
代理机构 代理人
主权项
地址