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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03105931(A) 申请公布日期 1991.05.02
申请号 JP19890244216 申请日期 1989.09.19
申请人 NEC CORP 发明人 TSUKADA YASUTOSHI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/338;H01L29/812 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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