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发明名称 POSITION DETECTOR AND INSPECTING APPARATUS WITH SAME
摘要
申请公布号 JPH03105201(A) 申请公布日期 1991.05.02
申请号 JP19890243096 申请日期 1989.09.19
申请人 NIDEK CO LTD 发明人 FUJI MINORU
分类号 G01B11/00 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
主权项
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