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发明名称 MANUFACTURING DEVICE FOR PIEZOELECTRIC VIBRATOR
摘要
申请公布号 JPH03106084(A) 申请公布日期 1991.05.02
申请号 JP19890244655 申请日期 1989.09.20
申请人 FUJITSU LTD 发明人 YAMADA SUMIO;FUJIWARA YOSHIAKI;SAKAI MASAYUKI
分类号 H01L41/113;H03H3/02 主分类号 H01L41/113
代理机构 代理人
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