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发明名称 MANUFACTURE OF BICMOS TYPE INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH03106066(A) 申请公布日期 1991.05.02
申请号 JP19890242308 申请日期 1989.09.20
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 KATO TAKAO
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/8249;H01L27/06;H01L29/732 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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