发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING LIGHT TRANSMISSION WINDOW
摘要
申请公布号 JPH03104242(A) 申请公布日期 1991.05.01
申请号 JP19890242997 申请日期 1989.09.19
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 HASHIMOTO TOMOAKI;MATSUDA SADAMU
分类号 H01L21/56 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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