发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03104241(A) 申请公布日期 1991.05.01
申请号 JP19890242464 申请日期 1989.09.19
申请人 FUJITSU LTD;KYUSHU FUJITSU ELECTRON:KK 发明人 SAGARA YASUFUMI;FUKUZAKI HIROTOSHI;KAMISUIO YUTAKA
分类号 H01L21/52;H01L21/50 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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