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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH03104241(A)
申请公布日期
1991.05.01
申请号
JP19890242464
申请日期
1989.09.19
申请人
FUJITSU LTD;KYUSHU FUJITSU ELECTRON:KK
发明人
SAGARA YASUFUMI;FUKUZAKI HIROTOSHI;KAMISUIO YUTAKA
分类号
H01L21/52;H01L21/50
主分类号
H01L21/52
代理机构
代理人
主权项
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