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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03104236(A) 申请公布日期 1991.05.01
申请号 JP19890242668 申请日期 1989.09.19
申请人 FUJITSU LTD 发明人 TAMURA NAOYOSHI
分类号 H01L21/336;H01L21/265;H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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