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发明名称 BUBBLER DEVICE FOR VAPOR PHASE EPITAXIAL GROWTH
摘要
申请公布号 JPH03104240(A) 申请公布日期 1991.05.01
申请号 JP19890242462 申请日期 1989.09.19
申请人 FUJITSU LTD 发明人 EBE KOJI;MARUYAMA KENJI;SAWADA AKIRA;MURAKAMI SATOSHI
分类号 H01L21/205;H01L21/365 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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