| 发明名称 |
ETCHANT FOR AMORPHOUS SILICON AND ETCHING METHOD USING SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03104227(A) |
申请公布日期 |
1991.05.01 |
| 申请号 |
JP19890242846 |
申请日期 |
1989.09.19 |
| 申请人 |
OKI ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
KOIZUMI MASUMI;YOSHIDA MAMORU;NOMOTO TSUTOMU;SHIMIZU MARI |
| 分类号 |
H01L21/308;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786 |
主分类号 |
H01L21/308 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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