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发明名称
摘要
申请公布号	JPH0330969(B2)	申请公布日期	1991.05.01
申请号	JP19830188485	申请日期	1983.10.11
申请人	ANELVA CORP	发明人	NAKAMURA KAZUO;YOKOGAWA TOSHIO;SHIMIZU JUNICHI
分类号	C23C14/36;C23C14/34;C23C14/35;H01F41/18	主分类号	C23C14/36
代理机构		代理人
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