| 发明名称 |
ETCHING METHOD FOR HF CHEMICAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03102827(A) |
申请公布日期 |
1991.04.30 |
| 申请号 |
JP19890239934 |
申请日期 |
1989.09.18 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
HAGIMAE HIROAKI;OTAKE MITSUYOSHI;HAMANO MEGUMI;WATANABE MASAHIRO |
| 分类号 |
H01L21/308;H01L21/304;H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/308 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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