发明名称 Method of making ohmic resistance WSb, contacts to III-V semiconductor materials
摘要
申请公布号 US5011792(A) 申请公布日期 1991.04.30
申请号 US19900478875 申请日期 1990.02.12
申请人 AT&T BELL LABORATORIES 发明人 DUTTA, RANJAN
分类号 H01L21/203;H01L21/28;H01L21/285;H01L29/45 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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