| 发明名称 |
ION BEAM SCANNING CONTROLLER OF ION IMPLANTING DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH03102750(A) |
申请公布日期 |
1991.04.30 |
| 申请号 |
JP19890239865 |
申请日期 |
1989.09.18 |
| 申请人 |
ULVAC JAPAN LTD |
发明人 |
NIIKURA KOICHI;SAKURADA YUZO;TSUKAGOSHI OSAMU;KASHIMOTO KAZUHIRO;TAKEGAWA SHINYA |
| 分类号 |
H01J37/147;H01J37/317;H01L21/265 |
主分类号 |
H01J37/147 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
