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经营范围
发明名称
DOPNINGSFOERFARANDE.
摘要
申请公布号
FI83721(B)
申请公布日期
1991.04.30
申请号
FI19890004534
申请日期
1989.09.26
申请人
EPISYSTEMS OY LTD
发明人
HYVAERINEN, JAAKKO ANTERO
分类号
C09K11/00;C09K11/56;C30B31/08;H01L21/365;H05B33/10;H05B33/12;H05B33/18;(IPC1-7):H05B33/14
主分类号
C09K11/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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