发明名称 FORMING METHOD FOR MULTILAYER WIRING
摘要
申请公布号 JPH03102828(A) 申请公布日期 1991.04.30
申请号 JP19890239937 申请日期 1989.09.18
申请人 HITACHI LTD 发明人 TSUJIKU SUSUMU;NISHITANI EISUKE
分类号 H01L21/3205 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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