| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR ANALYZING GRANULAR SUBSTANCE AND ULTRAPURE WATER MAKING AND CONTROL APPARATUS UTILIZING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03102242(A) |
申请公布日期 |
1991.04.26 |
| 申请号 |
JP19890240316 |
申请日期 |
1989.09.16 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KOGA TADATAKA;NISHITARUMI TAKESHI;MATSUI TETSUYA;YOKOSE KENJI;SAKAGAMI MASAHARU;KITAMORI TAKEHIKO |
| 分类号 |
G01N21/62;G01N15/06;G01N15/10;G01N27/02;G01N27/62;G01N27/64;G01N33/18 |
主分类号 |
G01N21/62 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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