| 发明名称 |
COATING FILM FORMING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03101866(A) |
申请公布日期 |
1991.04.26 |
| 申请号 |
JP19890238142 |
申请日期 |
1989.09.13 |
| 申请人 |
TOKYO OHKA KOGYO CO LTD |
发明人 |
SAGO HIROHITO;MIZUKI HIDEYUKI;KUDO KATSUHIKO;UEHARA AKIRA;NAKAYAMA MUNEO |
| 分类号 |
B05C9/00;B05C11/08;H01L21/027;H01L21/30 |
主分类号 |
B05C9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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