发明名称 CARRIER GAS CLUSTER SOURCE FOR THERMALLY CONDITIONED CLUSTERS
摘要
申请公布号 KR910002567(B1) 申请公布日期 1991.04.26
申请号 KR19880071352 申请日期 1988.10.26
申请人 HUGHES AIRCRAFT CO. 发明人 KNAUER WOLFGANG
分类号 C23C14/24;C23C14/22;C23C14/32;(IPC1-7):C23C14/32 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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