发明名称 ARRANGEMENT AND WIRING INSIDE INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH03101232(A) 申请公布日期 1991.04.26
申请号 JP19890238910 申请日期 1989.09.14
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TAKATSUKI KENICHI
分类号 H01L21/3205;H01L21/82;H01L23/52 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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