发明名称 |
MANUFACTURE OF HIGH PURITY LOW ARSENIC ANHYDROUS HYDROGEN FLUORIDE |
摘要 |
|
申请公布号 |
AU609096(B2) |
申请公布日期 |
1991.04.26 |
申请号 |
AU19880012971 |
申请日期 |
1988.02.10 |
申请人 |
ALLIED-SIGNAL INC. |
发明人 |
THEODORE JOHN JENCZEWSKI;ROBERT LANCE STURTEVANT;THOMAS RICHARD MORGAN;BARRY JOHN BOGHEAN;DONALD CHRISTOPHER BUTT |
分类号 |
B01J27/18;C01B7/19;C01G28/00;(IPC1-7):C01B7/19 |
主分类号 |
B01J27/18 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|