| 发明名称 |
SCHALTUNGSANORDNUNG ZUM BETRIEB EINER MESSSTRUKTUR IN GATE-ARRAY-SCHALTKREISEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DD289377(A5) |
申请公布日期 |
1991.04.25 |
| 申请号 |
DD19890334991 |
申请日期 |
1989.11.29 |
| 申请人 |
VEB ROBOTRON-BUCHUNGSMASCHINENWERK KARL-MARX-STADT,DE |
发明人 |
KEMTER,LOTHAR,DE |
| 分类号 |
G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01R31/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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