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发明名称
SOLID PHASE EPITAXIAL GROWTH
摘要
申请公布号
JPH03101122(A)
申请公布日期
1991.04.25
申请号
JP19890237515
申请日期
1989.09.13
申请人
SANYO ELECTRIC CO LTD
发明人
KAWAI KAZUHIKO
分类号
H01L21/20;H01L21/263;H01L21/265;H01L21/268
主分类号
H01L21/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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