发明名称 SOCKET AND TESTING APPARATUS AND METHOD USING SAME
摘要
申请公布号 JPH03101144(A) 申请公布日期 1991.04.25
申请号 JP19890237663 申请日期 1989.09.13
申请人 HITACHI LTD 发明人 SAKAMOTO TAKASHI;NISHIOKA HISASHI;HYODO SHINJI;IIMURA TOSHIYUKI
分类号 G01R31/26;H01L21/66;H01R33/76 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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