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发明名称 BELICHTUNGSGERAET DURCH GELADENE TEILCHEN MIT EINER OPTISCH VERFORMBARER STRAHLBEGRENZUNGSBLENDE.
摘要
申请公布号 DE3768737(D1) 申请公布日期 1991.04.25
申请号 DE19873768737 申请日期 1987.08.12
申请人 N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN, EINDHOVEN, NL 发明人 VAN DER MAST, KAREL DIEDERICK, NL-5656 AA EINDHOVEN, NL
分类号 H01J37/153;H01J37/30;H01J37/317;H01L21/027;(IPC1-7):H01J37/30 主分类号 H01J37/153
代理机构 代理人
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