发明名称
摘要
申请公布号 DE3842863(C2) 申请公布日期 1991.04.25
申请号 DE19883842863 申请日期 1988.12.20
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG EV, 8000 MUENCHEN, DE 发明人 WENNEKERS, PETER, DIPL.-PHYS., 7800 FREIBURG, DE
分类号 H01L29/812;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/338;H01L29/43;H01L29/45 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
主权项
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