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发明名称
摘要
申请公布号
DE3842863(C2)
申请公布日期
1991.04.25
申请号
DE19883842863
申请日期
1988.12.20
申请人
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG EV, 8000 MUENCHEN, DE
发明人
WENNEKERS, PETER, DIPL.-PHYS., 7800 FREIBURG, DE
分类号
H01L29/812;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/338;H01L29/43;H01L29/45
主分类号
H01L29/812
代理机构
代理人
主权项
地址
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