| 发明名称 |
Multiple chamber vacuum installation. |
| 摘要 |
Die Erfindung beschreibt eine Mehrkammer-Vakuumanlage bestehend aus einer Chargen-Wechselkammer 5 und mehreren Prozeßkammern 1 - 4. Eine der Prozeßkammern dient gleichzeitig als Schleusenkammer 4. Sie besteht aus zwei Teilen, welche an der Innen- bzw. Außenseite der Chargen-Wechselkammer befestigt sind.
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| 申请公布号 |
EP0423710(A1) |
申请公布日期 |
1991.04.24 |
| 申请号 |
EP19900119810 |
申请日期 |
1990.10.16 |
| 申请人 |
ARTHUR PFEIFFER VAKUUMTECHNIK WETZLAR GMBH |
发明人 |
HILD, GERHARD |
| 分类号 |
B22D5/02;B22F3/10;C21D1/773;F27B19/00 |
主分类号 |
B22D5/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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