发明名称 LIQUID PHASE EPITAXIAL GROWTH SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH0399425(A) 申请公布日期 1991.04.24
申请号 JP19890236252 申请日期 1989.09.12
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD;TOTTORI SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 YAMAMOTO SHIGERU
分类号 H01L21/208 主分类号 H01L21/208
代理机构 代理人
主权项
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