发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 GB2206446(B) 申请公布日期 1991.04.24
申请号 GB19870022998 申请日期 1987.09.30
申请人 * MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA 发明人 KAKUTARO * SUDA
分类号 H01L21/033;H01L21/74;H01L21/76;H01L21/761;H01L21/762 主分类号 H01L21/033
代理机构 代理人
主权项
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