发明名称
摘要
申请公布号 JPH0329302(B2) 申请公布日期 1991.04.23
申请号 JP19860011734 申请日期 1986.01.22
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES 发明人 NAKAJIMA SHIGERU;EHATA TOSHIKI
分类号 H01L21/28;H01L21/338;H01L29/80;H01L29/812 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
地址