发明名称 |
FILM FORMING EQUIPMENT AND MAGNETIC FILM USING THE SAME |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0397210(A) |
申请公布日期 |
1991.04.23 |
申请号 |
JP19890232802 |
申请日期 |
1989.09.11 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KOBAYASHI TOSHIO;NAKATANI RYOICHI;NAKAMURA HITOSHI;KUMASAKA TAKAYUKI |
分类号 |
C23C14/46;C23C14/56;G11B5/85;G11B5/851;G11B11/10;G11B11/105;H01F10/08;H01F41/18 |
主分类号 |
C23C14/46 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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