发明名称 FILM FORMING EQUIPMENT AND MAGNETIC FILM USING THE SAME
摘要
申请公布号 JPH0397210(A) 申请公布日期 1991.04.23
申请号 JP19890232802 申请日期 1989.09.11
申请人 HITACHI LTD 发明人 KOBAYASHI TOSHIO;NAKATANI RYOICHI;NAKAMURA HITOSHI;KUMASAKA TAKAYUKI
分类号 C23C14/46;C23C14/56;G11B5/85;G11B5/851;G11B11/10;G11B11/105;H01F10/08;H01F41/18 主分类号 C23C14/46
代理机构 代理人
主权项
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