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发明名称
FORMATION OF BORON NITRIDE FILM
摘要
申请公布号
JPH0397847(A)
申请公布日期
1991.04.23
申请号
JP19890233763
申请日期
1989.09.07
申请人
NISSIN ELECTRIC CO LTD
发明人
NISHIYAMA SATORU;KIRIMURA HIROYA;OGATA KIYOSHI
分类号
C23C14/06
主分类号
C23C14/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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