| 发明名称 |
APPARATUS FOR PRODUCING SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0397868(A) |
申请公布日期 |
1991.04.23 |
| 申请号 |
JP19890231755 |
申请日期 |
1989.09.08 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
TAKEMOTO HISAKUNI;KOIZUMI HAJIME |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/455;H01L21/205;H01L21/31;H01L21/318 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
