Method of detecting the width of spacers and lightly doped drain regions,申请号US19890313984-传众专利搜索

发明名称	Method of detecting the width of spacers and lightly doped drain regions
摘要
申请公布号	US5010029(A)	申请公布日期	1991.04.23
申请号	US19890313984	申请日期	1989.02.22
申请人	ADVANCED MICRO DEVICES, INC.	发明人	LIU, YOW-JUANG (BILL);HADJIZADEH-AMINI, ZAHRA
分类号	H01L21/336;H01L21/66;H01L29/78	主分类号	H01L21/336
代理机构		代理人
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