发明名称 FORMATION OF PATTERNED OXIDE SUPERCONDUCTING THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH0396286(A) 申请公布日期 1991.04.22
申请号 JP19890233725 申请日期 1989.09.08
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 NAGAI YASUHIRO;YANAGISAWA KEIICHI;TSURU KOJI;KOSHIMOTO YASUHIRO
分类号 H01L21/3205;H01L23/52;H01L39/24 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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