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发明名称 FORMING METHOD OF CUTTING GATE STRUCTURE
摘要
申请公布号 JPH0395973(A) 申请公布日期 1991.04.22
申请号 JP19890232224 申请日期 1989.09.07
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC WORKS LTD 发明人 YAMADA KOICHI
分类号 H01L29/74;H01L29/41;H01L29/417;H01L29/80 主分类号 H01L29/74
代理机构 代理人
主权项
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