发明名称 FORMING METHOD FOR THIN SEMICONDUCTOR FILM
摘要
申请公布号 JPH0395922(A) 申请公布日期 1991.04.22
申请号 JP19890233940 申请日期 1989.09.07
申请人 CANON INC 发明人 ICHIKAWA TAKESHI;YONEHARA TAKAO
分类号 C30B1/02;H01L21/20;H01L21/324;H01L21/84 主分类号 C30B1/02
代理机构 代理人
主权项
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