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发明名称 DOPING METHOD FOR COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH0395927(A) 申请公布日期 1991.04.22
申请号 JP19890232415 申请日期 1989.09.07
申请人 NIPPON SHEET GLASS CO LTD 发明人 OYOSHI KEIJI;TANAKA SHUHEI
分类号 H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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